设备特点:
1采用二套独立的电脑控制机械臂自动化作业;
2采用第五代最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落;
3最新全自动补液技术;
4独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕;
5成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身;
6彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换。